中南大學(xué)程老師為了處理碳酸鈰材料，在我公司定制非標準旋轉PECVD，設備組裝完畢后，進(jìn)行空載試機，為老師及學(xué)生講解設備功能及使用方法，測試各項功能均正常后進(jìn)行第一次實(shí)驗。

  裝載大約25克碳酸鈰，由于原料含有較大的水分，開(kāi)始抽真空明顯感覺(jué)抽真空速率及其緩慢，真空泵運行將近一個(gè)小時(shí)，才能抽至100pa左右，在未通氧氣的情況下，一旦射頻開(kāi)啟，真空度會(huì )迅速升高，且爐管內部輝光為暗淡的紫色，且啟輝不易穩定，需要較長(cháng)的時(shí)間，通入氧氣后會(huì )在爐管右端首先反應比較激烈，會(huì )出現爆閃的紅光，隨著(zhù)反應過(guò)程的推進(jìn)，輝光會(huì )逐漸穩定且向爐管左側蔓延，直至充滿(mǎn)整個(gè)爐管，且輝光顏色會(huì )逐漸由暗紫色變?yōu)榈仙罱K轉為淡粉色，此后顏色就不再發(fā)生變化，真空度也會(huì )維持在一個(gè)很低的水平，一般在20pa左右，反應完成后物料顏色由之前的純白色變?yōu)槊S色。

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