設備簡(jiǎn)介：

 三溫區管式爐為滿(mǎn)足各類(lèi)CVD工藝的要求，我們將多個(gè)溫區的控制儀表全部融合到了智能控制系統里邊，您只需通過(guò)輕輕點(diǎn)擊觸摸屏即可完成所有的參數設定。在滿(mǎn)足不同溫區梯度控制的同時(shí)，還可將多個(gè)溫區設定為同一溫度點(diǎn)，作為加長(cháng)的單溫區使用。它延續了開(kāi)啟式管式爐的經(jīng)典設計，美觀(guān)與實(shí)用同在！

設備特點(diǎn)

1、雙層鋼結構；

2、高純度Al2O3纖維耐火保溫材料，最大節約能源；

3、耐火陶瓷上的高純度氧化鋁涂層可延長(cháng)使用壽命；

4、氧化鋁管塞可幫助您在管內建立自定義的溫度梯度。

產(chǎn)品型號

NBD-O1200-50T3GF

NBD-O1200-60T3GF

NBD-O1200-80T3GF

NBD-O1200-100T3GF

電氣規格

AC380V    2KW+4KW+2KW

可達溫度

1200 ℃ （<1小時(shí)）

長(cháng)期使用溫度范圍

300~1150℃

加熱速率

≤20℃/分鐘

加熱區長(cháng)度

200mm+400mm+200mm（三溫三控：每個(gè)溫區均可獨立運行）

爐管尺寸

Φ50*1400mm

Φ60*1400mm

Φ80*1400mm

Φ100*1400mm

控制系統

1.可預存15條溫度曲線(xiàn)，避免不同的實(shí)驗工藝重復設置帶來(lái)的麻煩；

2.實(shí)驗過(guò)程更加直觀(guān)，操作更加便捷；

3.NBD-101E嵌入式操作系統中英文互換圖形界面，7寸真彩觸屏輸入，智能式人機對話(huà)模式，非線(xiàn)性式樣溫度修正；

4.具有超溫報警、斷偶提示、漏電保護等功能。

溫度精度

+/- 1 ℃

加熱元件

Mo摻雜的Fe-Cr-Al合金

密封系統

真空度：≤10Pa（機械泵）

壓力測量與監控

采用機械壓力表，表外殼為氣密型結構，能有效保護內部機件免受環(huán)境影響和雜物侵入，同時(shí)具有較強的耐腐蝕和耐高溫的能力。

供氣系統

采用浮子流量計控制氣體流速，與設備一體化，方便控制，且出廠(chǎng)前已進(jìn)行漏氣測試工作。

凈重

90KG

設備使用注意事項

1、設備爐膛溫度≥300℃時(shí)，禁止打開(kāi)爐膛，避免受到傷害；

2、設備使用時(shí)，爐管內壓力不得超過(guò)0.125MPa（絕對壓力），以防止壓力過(guò)大造成設備損壞；

3、真空下使用時(shí)，設備使用溫度不得超過(guò)800℃。

   4、供氣鋼瓶?jì)炔繗鈮狠^高，向爐管內通入氣體時(shí)，氣瓶上必須安裝減壓閥，建議在選購試驗用小壓力減壓閥，減壓閥量程為0.01MPa-0.15MPa,使用時(shí)會(huì )更加精確安全。

   5、當爐體溫度高于1000℃時(shí)，爐管內不可處于真空狀態(tài)，爐管內的氣壓需和大氣壓 相當，保持在常壓狀態(tài)；

   6、高純石英管的長(cháng)時(shí)間使用溫度≦1100℃

   7、加熱的實(shí)驗時(shí)，不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進(jìn)氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對樣品加熱，則需時(shí)刻關(guān)注壓力表的示數，絕對壓力表讀數不要大于0.15MPa，必須立刻打開(kāi)排氣端閥門(mén)，以防意外發(fā)生（如爐 管破裂，法蘭飛出等）

服務(wù)支持

1年質(zhì)保，提供終身支持（保修范圍內不包括易耗部件，例如爐管和O形圈等）